Carl Zeiss: Ein neues, hochflexibles Analysesystem für die Nanotechnologie

AURIGA™ CrossBeam® Workstation bietet fortschrittliche Analytik, einzigartige Bildgebung, präzise Probenbearbeitung und zukunftssichere Investition

OBERKOCHEN, 25.03.2009.
Carl Zeiss präsentiert ein neu entwickeltes System für Mikroskopie, Analyse und Bearbeitung von Präparaten in den Materialwissenschaften, den Life Sciences und der Halbleitertechnologie. AURIGA™, eine Kombination aus Elektronen- mikroskop und Gallium-Ionensäule, ermöglicht es Materialproben hochaufgelöst abzubilden und sie chemisch zu analysieren. Mit der GalliumIonensäule können zudem Schnitte in die Proben gelegt oder ganze Schichten abgetragen werden, um dreidimensonale Informationen über die Proben- struktur zu erhalten. Auch die Kristallstruktur und die komplette Morphologie einer Probe lassen sich mit AURIGA bestimmen.

„Wir sind einer der Pioniere für diese Klasse von kombinierten Partikelstrahlsystemen“, erläutert der Leiter des Produktmanagements, Dr. Thomas Albrecht. „Mit AURIGA kann der Anwender eine größtmögliche Auswahl an Proben untersuchen und diesen ein Maximum an Informationen abringen.“ Zu diesem Zweck verfügt AURIGA über insgesamt 15 Anschlussstellen für Detektoren. Eine einzigartige Ladungskompensation er- möglicht es, auch elektrisch nicht leitende Proben wie Glas, Kunststoffe und viele biologische Präparate mit der vollen Funktionalität sämtlicher Detektoren zu untersuchen. Die Detektion von Rückstreuelektronen und Sekundärelektronen zur Bildgebung wird dadurch ebenso möglich wie eine Vielzahl analytischer Verfahren (wie beispielsweise energiedispersive und wellenllängendispersive Röntgenstrahlanalyse (EDS und WDS) oder Massenspektrometrie von Sekun-därionen (SIMS)). Vielfältige Anwendungen insbesondere in der Materialanalyse und den Life Sciences werden davon profitieren.

Einzigartige Bildgebung und präzise Probenbearbeitung
Das Herz der AURIGA CrossBeam® Plattform ist die bewährte GEMINI® FE-SEM Elektronenstrahl- säule. Deren spezielles Design ermöglicht nicht nur die Abbildung magnetischer Proben, sondern erlaubt während der Ionenstrahlbearbeitung eine simultane Bildgebung mit hoher Auflösung – wodurch beständig eine Kontrolle der Bearbeitung gewährleistet ist. Die eingesetzte Ionenstrahl- säule bietet eine weltweit führende Bildauflösung von 2,5 Nanometer. Zusätzlich steht ein Gas- injektionssystem mit bis zu fünf elementaren Gasen zur Verfügung, mit dem Proben durch Ätzen oder Abscheiden bearbeitet werden können.

Zukunftssichere Investition
Im Mittelpunkt der Entwicklung von AURIGA stand ein modulares Gerätekonzept. Als Grundversion kann der Anwender ein reines hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop (SEM) erhalten und zusätzliche Subsysteme und Komponenten je nach Budgetsituation und Anwendungsbedarf jederzeit nachrüsten. Die hohe Flexibilität dieses Konzepts ermöglicht die präzise Anpassung an den momentanen Bedarf und lässt für künftige Anwendungen alle Möglichkeiten offen.

Markus Wiederspahn
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