Das neue spektroskopische Ellipsometer UVISEL-2 von HORIBA Scientific

  verbindet höchste Messgenauigkeit mit vollständiger Automatisierung und einzigartiger Visualisierung der Probenoberfläche und der Messposition.

Das neu entwickelte spektroskopische Ellipsometer UVISEL-2 von HORIBA Scientific verfügt Dank der einzigartigen Eigenschaften der verwendeten Messmethoden über unübertroffene Empfindlichkeit und höchste Messgenauigkeit zur Messung dünnster Schichten auch auf transparenten Substraten wie Glasträgern oder Kunststoff-Folien.

Die vollständige Automatisierung der Probenpositionierung, die einfache Handhabung von Messprozeduren sowie ein software-schaltbares Mikro-Spotsystem ermöglichen eine extrem bedienerfreundliche Verwendung des Ellipsometers.

Durch die patentierte Integration der Kamera in den Messkopf ist eine einzigartige Visualisierung der Probenoberfläche und der Messposition möglich. Im Gegensatz zu herkömmlichen Systemen ist man nicht auf streuende Oberflächen zur Darstellung des Mess-Spots angewiesen.

Das UVISEL-2 verfügt über 8 schaltbare, achromatische Micro-Spots mit Spot-Größen zwischen 34µm und 1,2mm. Dies ermöglicht die exakte Positionierung z.B. auf strukturierten oder gekrümmten Oberflächen, oder die Vermeidung von verschmutzten Bereichen und Rückseitenreflexen bei transparenten Substraten.
Das UVISEL-2 wird in 2 Spektralbereichen geliefert:
UV – VIS: 190 – 1000 nm und UV – VIS & NIR: 190 – 2100nm.

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