Micrasys: PZ-2000FT – XY Scanningtisch mit integrierter Piezo-Z-Achse

Der ultraflache PZ-2150FT XYZ Scanning Tisch verfügt über einen Verfahrbereich von 120 x 75 mm und wurde frei von Störkonturen designed. Im Oberteil integriert befindet sich ein Piezo Z-Achsen Einsatz, der die Probe in einem 150µm (300µm und 500µm optional) Verstellbereich blitzschnell und in Nanometer-Genauigkeit positioniert. Durch das Verfahren der gesamten Probe kann jedes Objektiv genutzt werden und eine Kabelverdrehung, wie dies bei einzeln an die Objektive montierter Piezosysteme üblich ist, wird ausgeschlossen. Das Oberteil mit einem Ausbruch von 160 x 110 mm ist kompatibel zu einem umfangreichen Sortiment Einlegerahmen.

Seine hohe Auflösung und ausgezeichnete Wiederholgenauigkeit erhält der Tisch durch präzise Closed-Loop DC Servomotore mit integrierten hochauflösenden rotatorischen Encodern zur Positionsrückmeldung. Optional verfügbare lineare Maßstäbe optimieren die Wiederholgenauigkeit auf weniger als 300nm (typisch) im Vergleich zu 700 nm (typisch) von standardmäßig eingesetzten rotatorischen Encodern.

Die Closed-Loop Steuerung schließt ein Verlust der Tischposition aus, wie es nach einer Anzahl Bewegungszyklen bei den herkömmlichen Open-Loop Mikroschritt-Tischen der Fall sein kann. Seinen feinen und akkuraten Bewegungsablauf erhält der ultraflache XY Scanning Tisch durch den Einsatz von speziellen Kreuzrollenführungen, hochpräzisen Kugelumlaufspindeln und spielfreien DC Servomotoren mit Miniaturgetriebe.

Unsere MS-2000 Mikroprozessor Steuerungen kommunizieren über RS-232 oder USB Schnittstellen mit dem Computer und steuern alle drei Achsen.

Eigenschaften:
• „Closed-Loop“ Steuerung der X, Y und Z-Achsen ermöglicht eine präzise Positionierung und eine außergewöhnlich gute Wiederholgenauigkeit der XY Position und der Fokuseinstellung
• Design frei von Störkonturen
• Großer dynamischer Geschwindigkeitsbereich dank einstellbarer Trapez-Geschwindigkeitsprofile
• Feinfühlig positionierbar mit ergonomischer „dual-range“ XY Joystick Steuerung
• Hintergrundbeleuchtetes LCD Display zeigt die XYZ-Koordinaten an
• „Zero“ und „Home“ Tasten für einfachen Stand-Alone Betrieb
• Sehr kompakte und ergonomische Tischsteuerung, nur 9 cm (H) x 23 cm (B) x 16,3 cm (T)
• Kompatibel zu den meisten gängigen Software Paketen
• Tischausbruch 160 x 110 mm ist passend für ein umfangreiches Sortiment Einlegerahmen

Datenblatt: www.micrasys.com/uploads/txpim/M-ASI-PZ-2150FT_deu.pdf

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